企業簡介
北京華林嘉業科技有限公司(簡稱CGB)，總部坐落于北京經濟技術開發區。生產基地在河北經濟開發區機器人產業園區，公司以打造擁有自主知識產權的民族高科技企業為已任，以創建國際一流企業為愿景。
CGB主要從事半導體、平板顯示、太陽能光伏領域濕法制程設備的研發、生產與銷售。產品性能處于國內行業領先地位，并逐漸接近國際行業先進水平。2008年通過了ISO9001:2000質量體系認證。公司業務范圍涵蓋：功能設計、結構設計、外觀設計，骨架、包板、組裝、調試等全方位生產過程。專注于化合物半導體、硅材料、集成電路(IC)、微機電系統(MEMS)等領域。
主營產品介紹
全自動最終清洗機
該設備為我公司開發的專利產品，專業應用于SiC襯底和SiC外延片最終清洗的工藝環節。
該設備涵蓋了全部的RCA清洗技術，包括SC1、SC2、SPM、HF等藥液，通過合理有效地藥液槽的布局排列，結合超聲(兆聲)技術，對SiC晶片的表面進行清洗處理；通過自主開發的控制軟件，有效地將多ROBOT運動軌跡，與清洗工藝有機結合，避免了交叉污染，保證了清洗工藝的順利實施。集成在線的甩干機或Marangoni dryer單元，保證了晶片干進干出，便于晶片進入下一工序。
本設備具備完善的安全防護設施，配備了10級FFU，用于十級或百級凈化間。整個清洗過程，不需要人為干預。采用本設備清洗后的6英寸SiC晶片，表面顆粒達到<30顆/片@0.3微米，表面金屬雜質殘留<5E10（16種金屬離子），完全滿足SiC器件工藝對表面的技術要求。該設備已在國內多家SiC生產龍頭企業使用，得到了用戶的全面認可，具有非常高的市占率。
【 聯系方式 】
郵箱/Email ：gengbiao@cgbtek.com
服務熱線/Service: 400-650-7658
010-60573500 86-13910297918
公司網站/Website: http://www.cgbtek.com
公司地址/Address: 北京經濟技術開發區榮華南路15號院中航技廣場D座7層705單元
