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記 者  ASMPT是為電子產(chǎn)品生產(chǎn)的所有階段提供最先進(jìn)設(shè)備的廠商，產(chǎn)品涵蓋從物料到芯片集成和焊接，再到SMT生產(chǎn)方案。近年來(lái)，伴隨功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新，后段工藝遇到了哪些挑戰(zhàn)，ASMPT是如何解決的？

許志偉 功率半導(dǎo)體一直是ASMPT的業(yè)務(wù)重點(diǎn)，從傳統(tǒng)軟焊料/鋁線/夾焊（Clip）工藝開始，過去十多年ASM設(shè)備從未停止迭代更新，不斷滿足行業(yè)創(chuàng)新要求。包括SD8312/Hercules/eClip方案等等。

關(guān)于挑戰(zhàn)，目前主要體現(xiàn)在銀燒結(jié)技術(shù)（Silver Sintering）的使用，在傳統(tǒng)半導(dǎo)體封測(cè)設(shè)備無(wú)法滿足要求的前提下，ASMPT作為行業(yè)最先進(jìn)設(shè)備廠商，專門為此開發(fā)了一系列燒結(jié)方案。此前，業(yè)界只能選擇零星的歐美設(shè)備廠商。

ASMPT功率半導(dǎo)體方案

記 者 近年來(lái)，中國(guó)功率器件市場(chǎng)高速發(fā)展，ASMPT在中國(guó)的業(yè)務(wù)布局發(fā)生了哪些變化？目前主要行業(yè)布局有哪些？產(chǎn)品線在這些行業(yè)的突出成績(jī)體現(xiàn)在哪些方面？

許志偉  中國(guó)功率器件市場(chǎng)百花齊放，高速發(fā)展是件好事，但其風(fēng)險(xiǎn)同樣存在，技術(shù)瓶頸突破緩慢，國(guó)內(nèi)尖端技術(shù)人才不足，資本市場(chǎng)亂象，都是值得重視，特別是要避免國(guó)內(nèi)同行惡性競(jìng)爭(zhēng)，進(jìn)入不良循環(huán)。對(duì)此，在中國(guó)布局中，ASMPT希望以設(shè)備商身份為國(guó)內(nèi)技術(shù)發(fā)展增速，培養(yǎng)新一代行業(yè)人才。我們?cè)谌蚪⒍鄠€(gè)孵化實(shí)驗(yàn)室，在新加坡和中國(guó)香港及德國(guó)與材料供應(yīng)商深度合作，聯(lián)合研發(fā)下一代材料。我們相信這些行動(dòng)最終將為ASMPT企業(yè)帶來(lái)長(zhǎng)遠(yuǎn)而穩(wěn)定的利潤(rùn)。目前，ASMPT燒結(jié)爐（SilverSAM）成績(jī)突出，后續(xù)鐳射切割/預(yù)燒結(jié)/模塊鋁線/塑封設(shè)備也將陸續(xù)推出市場(chǎng)。

                    SilverSAM 銀燒結(jié)設(shè)備

記 者 伴隨第三代半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，ASMPT在碳化硅芯片制造方面扮演了怎樣的角色？有哪些創(chuàng)新和進(jìn)展？

許志偉 ASMPT作為一家擁有40年以上經(jīng)驗(yàn)的全自動(dòng)化設(shè)備供應(yīng)商，我們希望成為全球No.1首選碳化硅設(shè)備供應(yīng)商。碳化硅芯片的應(yīng)用其主軸就像為新能源汽車而生，而車規(guī)類跟傳統(tǒng)消費(fèi)類芯片對(duì)設(shè)備發(fā)展方向存在著根本的差異。

在設(shè)備基礎(chǔ)開發(fā)層面，消費(fèi)類電子設(shè)備追求的是高速度、高精度，而車規(guī)類則重視高穩(wěn)定性、高重復(fù)性，以及生產(chǎn)中對(duì)物料可追蹤性等額外要求。在創(chuàng)新層面，車規(guī)設(shè)備更要綜合考慮未來(lái)發(fā)展方向，如銅材大面積使用（銅膏/銅箔/銅夾/銅線），防氧化功能必須配備。除了設(shè)備自研，ASMPT也同時(shí)考慮合適的并購(gòu)方案，如前工序設(shè)備NEXX沉積和ALSI鐳射切割等方案。

記 者 面對(duì)全球性功率半導(dǎo)體領(lǐng)域的“缺芯”困局，ASMPT有什么應(yīng)對(duì)之策，如何滿足中國(guó)市場(chǎng)的需求？特別是在本地化服務(wù)與支持方面。

許志偉 目前碳化硅主要需求來(lái)自電動(dòng)汽車、光伏及充電領(lǐng)域，待技術(shù)更加成熟且成本降低到合理范圍后將會(huì)逐步擴(kuò)展到其他領(lǐng)域。

碳化硅MOS驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)、可靠性及壽命仍然是應(yīng)用中面臨的痛點(diǎn)，瑞迪微目前與奇瑞汽車平臺(tái)及外部驅(qū)動(dòng)方案合作伙伴已展開深度合作聯(lián)合開發(fā)。

記 者 缺芯對(duì)于產(chǎn)業(yè)鏈影響無(wú)一幸免，ASMPT作為設(shè)備商，此前提到的孵化實(shí)驗(yàn)室服務(wù)，希望能為業(yè)界緩解缺芯對(duì)項(xiàng)目延遲的影響。

許志偉  缺芯對(duì)于產(chǎn)業(yè)鏈影響無(wú)一幸免，ASMPT作為設(shè)備商，此前提到的孵化實(shí)驗(yàn)室服務(wù)，希望能為業(yè)界緩解缺芯對(duì)項(xiàng)目延遲的影響。

記 者 目前一些車企已在使用碳化硅模塊做逆變器，ASMPT的產(chǎn)品是否已進(jìn)入汽車供應(yīng)鏈，特別是與中國(guó)造車新勢(shì)力的合作？目前還存在哪些問題需要解決？

許志偉ASMPT早在2017已進(jìn)入碳化硅逆變器供應(yīng)鏈，開始跟國(guó)際知名IDM合作為Tesla生產(chǎn)TPak單管。鮮為人知的是，目前約有80%產(chǎn)量正是使用ASM的燒結(jié)設(shè)備SilverSAM實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，份額為全球之冠。在未來(lái)，除了保持與行業(yè)頭部客戶緊密合作，ASM將投放更多資源在中國(guó)市場(chǎng)，希望為國(guó)家新能源汽車發(fā)展出一份力，目前大部分中國(guó)造車新勢(shì)力都在洽談合作中。

Tesla碳化硅MOSFET模塊

記 者 PSiC2022第五屆中國(guó)國(guó)際新能源汽車功率半導(dǎo)體市場(chǎng)與關(guān)鍵技術(shù)論壇將在蕪湖舉行，ASMPT為什么會(huì)參與這個(gè)會(huì)議？將怎樣利用這一機(jī)會(huì)展示自己的技術(shù)優(yōu)勢(shì)？您對(duì)PSiC2022有什么期待？

許志偉 多謝PSiC組委會(huì)的邀請(qǐng)，能讓我們有更多機(jī)會(huì)面向中國(guó)市場(chǎng)，ASMPT的設(shè)備方案多樣性（ASM AgS Total Solution）正是我們的最大優(yōu)勢(shì)之一，希望能為業(yè)界提供更多優(yōu)質(zhì)選項(xiàng)。